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ZYGO 7702 | 高精度双频 He-Ne 激光干涉仪测量头，用于纳米级位移与动态定位
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ZYGO 7712 | 高精度 He-Ne 激光干涉仪测量头，用于纳米级位移与长度计量
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ZYGO ZMI 7714 | 高精度激光干涉仪测量卡，用于纳米级位移与平面度检测
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